SJ6000激光幹涉儀係統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。

激(jī)光器發射單一頻率光束射入線性幹涉鏡,然後分成(chéng)兩道光束(shù),一道(dào)光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第(dì)二道(dào)透射光束(測量光束(shù))則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反(fǎn)射回到分光鏡,重新匯聚之後返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道(dào)光束之間的幹涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測(cè)器會在相長性和相消性幹涉的兩極之間找到穩定的信號。

SJ6000激光幹涉儀以幹涉技術為核心,其(qí)光波可直接對米(mǐ)進(jìn)行定(dìng)義。
● 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度(dù)、平麵度、回轉軸等幾何參(cān)量的高精(jīng)密測量;
● 可檢測數控機床、三坐(zuò)標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重複定位精度等(děng),以及導軌的俯(fǔ)仰(yǎng)角、扭擺角、直線度、垂直度等;
● 可(kě)實現龍(lóng)門機床雙軸同步測(cè)量;
● 可實(shí)現(xiàn)對機床回轉軸的測量(liàng)與校準;
● 可根據用戶設定的補償方式自(zì)動生成誤差補償表,為(wéi)設備誤差修正提供依據;
● 具(jù)有(yǒu)動態測量與分析功能(néng)‘’
● 支持手動或自動進行環境補償(cháng)。
● 友好的人機界麵;
● 豐富的應用功能模塊;
● 向導式的操作流程;
● 簡潔化的記錄管理;
● 支(zhī)持中文、英文(wén)和俄文界麵;
● 支持企業專屬模板定製。